Aerotech精密气浮直线平台
1.Aerotech精密气浮直线平台概述
AEROTECH设计和制造比较高性能的运动控制和定位系统。用户覆盖各地的工业，科学和研究机构。AEROTECH精密的运动控制产品成功应用于医疗设备和生命科学，半导体和平板显示，电子制造和测试，汽车等行业。AEROTECH精密的运动控制产品为当前要求苛刻的市场如:
医疗设备和生命科学，
半导体和平板显示，
光子学，
汽车，
数据存储，
激光处理，
电子制造和测试，
装配，
研究和开发(research and development)，及其他需要高精度，高生产能力运动解决方案的应用提供了比较高的性能。
Aerotech精密气浮直线平台： 张 1-8-5--1-8-5-5--8-6-8-8
2.Aerotech精密气浮直线平台系列
1）ABL1000气浮平台
1专为高性能校准和装配应用设计
2分辨率达2nm的直线编码器反馈
3闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)
4全预加负载气浮导轨(空气轴承)
5低噪音线性放大器
6全部非接触设计
行程≤150mm
精度±0.20um
重复定位精度±0.05um
直线度±0.25um
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2）ABL1500直线电机平台
1专为高性能扫描和检测应用设计
2分辨率达到nm以下的直线编码器反馈
3全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4大负载高刚性几何特性ji好
行程≤500mm
精度±0.20um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.25um
平面度±0.25um
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3）ABL2000气浮平台
1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计
2运动超平滑,速度稳定性突出
3直线编码器或激光干涉仪反馈
4行程达1.2米
5全预加负载气浮导轨(空气轴承)
6全部非接触设计
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.25um
平面度±0.25um
4）ABL3600气浮平台
1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,精度高
4双直线电机驱动XY轴
5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程≤250mm
精度±1um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.50um
平面度±1um
5）ABL8000气浮平台
1专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计
2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性ji好
3所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4行程达1米
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6可集成包括花岗岩的XY子系统
行程≤1000mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.40um
平面度±0.40um
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6）ABL9000气浮平台
1高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.50um
平面度±0.50um
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7）AHL9000直线电机平台
1专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计
2扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承
3行程达1.2米X1.2米
4双直线电机驱动步进轴
5直线编码器或激光干涉仪反馈
行程≤350mm
精度±1.0um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.60um
平面度±0.60um
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8）ABG10000气浮平台
1气浮导轨实现超平滑运动
2所有轴都预加载荷
3下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动
3行程达1mx1m
4非接触直线编码器(光栅)
5可选Z轴,隔振,机械底座和控制箱
6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．
行程≤1000mm
精度±2um
重复定位精度±0.5um
直线度±1um
平面度±1um
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3. Aerotech精密气浮直线平台应用
超精密加工
超精密平台
超精密检测
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